华润微电子由华润集团2002年收购华晶集团重组而成，总部位于无锡，拥有3条6英寸生产线。其中MEMS生产线是国内规模最大的兼容CMOS生产线的MEMS传感器量产线，处于国内领先地位。水平MEMS表面和体硅加工技术用于制造压力、硅麦克风、光电、温度和湿度等MEMS传感器。

力盛鑫（洛阳）电子科技有限公司是台湾LED产业之父石秀投资创办的企业。主要生产微机电工艺传感器、硅基微型聚光器芯片和微机电工艺集成电路OEM制造三大类产品。中国电子科技集团第十三研究院全资子公司，2015年6英寸SOI MEMS标准加工技术及其在高性能MEMS器件中的应用通过了科技部组织的专家验收。

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原位芯片成立于2015年，主要研究人员由来自清华大学、中科院及海外高校的微电子、生物、机电等领域的专业技术人才组成。罕王微电子是一家以MEMS传感器设计与制造为核心的高科技中美合资企业。总部位于辽宁省沉府新区，是罕王集团的控股子公司。 2016年，Technetium收购了Octavia光电，主要从事MEMS-CMOS三维集成制造平台技术和八英寸晶圆级封装技术，以及生产线和产品开发。

苏州固泰成立于1990年，是国内二极管领先企业。其子公司明锐光电、明豪传感、亚特曼电子涉足MEMS传感器IDM业务。 2020年6月，苏州固特泰与华晶传感共同成立华泰半导体。愿景是将华晶传感的MEMS麦克风芯片设计技术与苏州固泰的封装测试技术和生产经验相结合，逐步实现MEMS麦克风在高端领域的进口替代。